|
|
От
|
Claus
|
|
|
К
|
SSC
|
|
|
Дата
|
21.03.2022 10:13:14
|
|
|
Рубрики
|
Современность;
|
|
Ре: проблему низкой...
>А партнёры хотели (ранее) эту деятельность прикрыть? А то ведь там рентгеновские лазеры нужны, оптика всякая, расходники специфические и т.п. Посмотрим, короче.
На 130нм глубокий ультафиолет используется, а не рентген. Там попроще. Но в целом - да, надо посмотреть, какие проблемы из-за санкций могут вылезти.
>Так мы их (литографы) сейчас делаем или не делаем?
Нет, еще не делаем. Сейчас запустили работы по проектированию литографов на 350нм и 130нм с готовностью к серийному производству в 2026 году.